不一典型薄膜暖和电偶干用剖析3叙.doc 11页

  薄膜暖和电偶暖和电特点剖析与试验

  摘要:薄膜暖和电偶具拥有体积小、操干信便、优点在壹些正确测温露示出产了极父亲的。采取法消费的暖和电偶构成信直是拥有限的NiCr/NiSi薄膜暖和电偶NiCrSi/NiSiMg薄膜暖和电偶The thermo-electric property analysis and experiment of thin-film thermocouple

  Abstract:thin-film thermocouple has advantages of small volume,easy to operate, high accuracy,etc.In some for accurate temperature measurement under special circumstances,shows the great advantage.By magenetron sputtering method in the production of thermocouples on the material composition is almost unlimited.In this article,the NiCr/NiSi thin-film thermocouple, NiCrSi/NiSiMg thin-film thermocouple under static repeatability, using life, temperature limit, such as comparative analysis, in order to in use can be better “adjust measures to local conditions”. And compared with a university in Dalian production of thin-film thermocouple test, verification process on the properties of thin-film thermocouple. Thin-film thermocouple as a new type of thermocouple, and other special parts of engine blade surface temperature measurement has wide application prospect.

  1 小伸

  在研制初期,采取磁控溅射的方法镀制膜层,同时敏感层与基体之间的绝缘效实是薄膜暖和电偶创造经过中遇到的最父亲障碍,薄膜暖和电偶的创造经过中,为处理其绝缘效实,选用陶瓷基体,陶瓷基体上镀制薄膜层不需寻求考虑暖和电偶的绝缘效实。经度过与父亲包某高校创造的薄膜暖和电偶终止对比试验,发皓薄膜暖和电偶的创造工艺尤为要紧,经度过改动工艺重骈创造、试验、剖析,找到较为靠边拥有效的创造工艺创造出产了K型与N型薄膜暖和电偶,对其终止暖和电特点校准试验,并对试验结实终止剖析。经度过对试验结实的剖析,初步认定我们创造的薄膜暖和电偶的重骈性、摆荡性根本到臻运用要寻求。

  2 薄膜暖和电偶构造

  本文提到的K型与N型薄膜暖和电偶是以陶瓷为基底儿子,采取磁控溅射的方法区别以NiCr/NiSi(K型)与NiCrSi/NiSiMg(N型)为正负两级镀制在基底儿子上,在壹端结合节点,薄膜暖和电偶见图1、图2。

  图1 K型薄膜暖和电偶

  图2 N型薄膜暖和电偶

  K型薄膜暖和电偶在薄膜暖和电偶试制阶段,选择耐高温绝缘性好的陶瓷暖和电偶做基底儿子,在陶瓷暖和电偶外面表镀NiCr-NiSi薄膜层,膜层厚度1μm,在敏感层外面表镀制1μm的Al2O3做为维养护层,暖和电偶构造见图3。同理N型薄膜暖和电偶,在陶瓷暖和电偶外面表镀NiCrSi-NiSiMg薄膜层,膜层厚度1μm,在敏感层外面表镀制1μm的Al2O3做为维养护层,暖和电偶构造见图4。试验规律见图5。

  图3 K型暖和电偶构造

  图4 N型暖和电偶构造

  图5 试验规律

  3 薄膜暖和电偶创造工艺

  在创造经过中经度过改触动创造工艺,创造出产壹套较好的试验件,并与父亲包某高校创造的异样材质薄膜暖和电偶终止对比试验。从而验证出产我们创造的薄膜暖和电偶更为优秀。试验结实见表1。

  表1 与父亲包某高校薄膜暖和电偶对比试验结实

  温度℃ 温差℃ 己研薄膜暖和电偶 父亲包薄膜暖和电偶 300 -0.04 58.4 400 0.82 57.1 500 0.64 66.2

  4 薄膜暖和电偶暖和电特点试验规律

  4.1 NiCr-NiSi(K型)薄膜暖和电偶温度标注定

  采取直径为0.3mm的丝式规范K型暖和电偶干为参考暖和电偶终止暖和电特点,使用数字电压表对记号终止收集儿子,输入记号为电压记号,参照《》用差值法将电压

发表评论

电子邮件地址不会被公开。 必填项已用*标注